Cảm biến áp suất áp điện
Máy đo biến dạng điện trở là một trong những thành phần chính của cảm biến biến dạng áp điện. Nguyên lý làm việc của máy đo biến dạng điện trở kim loại dựa trên hiện tượng điện trở của máy đo biến dạng hấp phụ trên nền thay đổi theo biến dạng cơ học, thường được gọi là hiệu ứng biến dạng điện trở.
Cảm biến áp suất gốm
Cảm biến áp suất gốm hoạt động dựa trên hiệu ứng áp điện. Áp lực tác động trực tiếp lên bề mặt phía trước của màng ngăn gốm, gây biến dạng nhẹ. Một điện trở màng-dày được in ở mặt sau của màng chắn gốm, tạo thành cầu nối Wheatstone. Do hiệu ứng áp điện của điện trở áp điện, cầu tạo ra tín hiệu điện áp tuyến tính cao tỷ lệ với áp suất và cũng tỷ lệ với điện áp kích thích. Các tín hiệu tiêu chuẩn được hiệu chỉnh thành 2,0/3,0/3,3 mV/V, v.v., tùy thuộc vào phạm vi áp suất và tương thích với các cảm biến đo biến dạng.
Cảm biến áp suất silicon khuếch tán
Nguyên lý làm việc của cảm biến áp suất silicon khuếch tán cũng dựa trên hiệu ứng áp điện. Bằng cách sử dụng nguyên tắc này, áp suất của môi trường đo tác động trực tiếp lên màng ngăn của cảm biến (thép không gỉ hoặc gốm), gây ra sự dịch chuyển-vi mô của màng ngăn tỷ lệ với áp suất trung bình. Điều này dẫn đến sự thay đổi điện trở của cảm biến. Mạch điện tử phát hiện sự thay đổi này và đưa ra tín hiệu đo tiêu chuẩn tương ứng với áp suất đó.
Cảm biến áp suất Sapphire
Bằng cách sử dụng nguyên lý đo biến dạng, cảm biến này sử dụng silicon-sapphire làm phần tử cảm biến bán dẫn, sở hữu các đặc tính đo lường vô song. Do đó, các phần tử cảm biến bán dẫn làm bằng silicon-sapphire không nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ và thể hiện đặc tính vận hành xuất sắc ngay cả ở nhiệt độ cao; sapphire có khả năng chống bức xạ mạnh; hơn nữa, các phần tử cảm biến bán dẫn silicon-sapphire không có độ lệch p-n.
Cảm biến áp suất áp điện
Hiệu ứng áp điện là nguyên lý hoạt động chính của cảm biến áp điện. Cảm biến áp điện không thể được sử dụng để đo tĩnh vì điện tích sau khi tác dụng ngoại lực chỉ được bảo toàn khi mạch có trở kháng đầu vào vô hạn. Vì điều này không xảy ra trong thực tế nên cảm biến áp điện chỉ có thể đo ứng suất động.