Ngay từ năm 1738, nhà khoa học người Thụy Sĩ Daniel Bernoulli đã đo lưu lượng nước bằng phương pháp chênh lệch áp suất dựa trên phương trình Bernoulli đầu tiên. Sau đó, nhà khoa học người Ý GB Venturi đã nghiên cứu việc sử dụng ống Venturi để đo lưu lượng và công bố kết quả của mình vào năm 1791.
Năm 1886, American Herschel đã phát triển ống Venturi thành một thiết bị đo lưu lượng nước thực tế.
Từ đầu đến giữa thế kỷ 20, các nguyên tắc đo lường ban đầu dần dần trưởng thành và con người không còn giới hạn suy nghĩ của mình trong các phương pháp hiện có mà bắt đầu những khám phá mới.
Vào những năm 1930, các phương pháp đo tốc độ dòng chảy của chất lỏng và chất khí sử dụng sóng âm đã xuất hiện. Mặc dù các phương pháp đo lưu lượng sử dụng sóng âm đã được khám phá nhưng chúng không đạt được tiến bộ đáng kể nào cho đến Thế chiến thứ hai. Mãi đến năm 1955, máy đo lưu lượng Maxson, sử dụng phương pháp tuần hoàn âm thanh, mới được giới thiệu để đo tốc độ dòng chảy của nhiên liệu hàng không.
Từ những năm 1960 trở đi, các dụng cụ đo lường bắt đầu phát triển theo hướng chính xác và thu nhỏ.
Với sự phát triển nhanh chóng của công nghệ mạch tích hợp, máy đo lưu lượng siêu âm với công nghệ vòng khóa pha{0}}đã được sử dụng rộng rãi. Ứng dụng rộng rãi của máy vi tính đã cải thiện hơn nữa khả năng đo lưu lượng. Ví dụ, máy đo vận tốc Doppler laser có thể xử lý các tín hiệu phức tạp hơn sau khi được trang bị máy vi tính.